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支持實驗內容：

（1）鍍膜設備的基本操作實驗

實驗目的：熟悉鍍膜設備的開機、換靶材、抽真空、充氣、氣流量控制、濺射時間等基本操作流程及注意事項。

（2）多種金屬結構圖形設計實驗

實驗目的：利用光刻工藝設計好需要制備的金屬結構圖形，通過濺射剝離工藝制備各類型金屬結構圖形?；诠饪滔到y(tǒng)設計直導線、叉指電極、歐姆型電極、圓形電極等圖形，通過濺射工藝了解各類電極制備工藝。

（3）鍍膜工藝對金屬成膜的影響實驗

實驗目的：通過試驗濺射儀器真空度、氣流量、時間等參數(shù)，了解濺射工藝對金屬成膜質量的影響。

（4）襯底類型對金屬成膜的影響實驗

實驗目的：通過試驗硅、二氧化硅、玻璃、柔性基底等各類型襯底，了解襯底類型對金屬成膜質量的影響。

（5）粘附層對金屬成膜的影響實驗

實驗目的：通過試驗粘附層類型、厚度等參數(shù)，了解粘附層對金屬成膜質量的影響。

（6 ）剝離工藝對金屬成膜的影響實驗

實驗目的：通過試驗剝離時間、溫度等參數(shù)，了解玻璃工藝對金屬成膜質量的影響。

                                                                各類金屬電極

                                      金屬薄膜                                              金屬薄膜截面圖