歐泰克L-365-2E桌面微型光刻機(jī)，專(zhuān)為微米級(jí)圖案制作而設(shè)計(jì)，旨在保障卓越的圖形轉(zhuǎn)移精度。設(shè)備采用紫外LED冷光源，結(jié)合雙非球面石英透鏡，可生成半角＜2°的平行光，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機(jī)，其極致緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準(zhǔn)。
該光刻機(jī)廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領(lǐng)域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開(kāi)微細(xì)加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術(shù)的步伐，歐泰克桌面微型光刻機(jī)的問(wèn)世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項(xiàng)目目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)過(guò)程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段。
OTKL-365-2E桌面微型光刻機(jī) | |||
曝光光源 | 紫外LED | 光源平行性 | ≤2° |
光源波長(zhǎng) | 365nm | 光源壽命 | ≥20000h |
曝光面積 | 4英寸、6英寸可選 | 電源輸入 | AC220V±10V，50HZ |
曝光方式 | 單面接觸式定時(shí)曝光 | 功率 | 250W |
曝光分辨率 | 2um | 重量 | 25kg |
曝光強(qiáng)度 | 20~200mW/cm2可調(diào) | 外形尺寸 | 382（長(zhǎng)）*371（寬）*435（高） |
曝光不均勻性 | ≤5% | 工作環(huán)境 | 溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度＜80 % |
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