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歐泰克L-385-PE25投影掩膜光刻機(jī)系統(tǒng)-歐泰克L-385-PE25-歐泰克測控技術(shù)(蘇州)有限公司
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    歐泰克L-385-PE25投影掩膜光刻機(jī)系統(tǒng)

    歐泰克L-385-PE25投影掩膜光刻機(jī)系統(tǒng),專為微米級圖案制作而設(shè)計(jì)。

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    歐泰克L-385-PE25投影掩膜光刻機(jī)系統(tǒng),專為微米級圖案制作而設(shè)計(jì)。

    設(shè)備采用TI .47’’ 4K DLP紫外光學(xué)引擎,輸出圖像物理分辨可達(dá)到3840×2160??蓪?shí)現(xiàn)針對預(yù)設(shè)圖案無需制作掩模版,快速投影實(shí)現(xiàn)精度20um的無掩膜套刻。也可以通過物理掩膜實(shí)現(xiàn)2um精度光刻。曝光全過程可全程視頻監(jiān)測跟隨,并配備電子測量系統(tǒng),可實(shí)時(shí)測量結(jié)構(gòu)尺寸。

    該光刻機(jī)廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領(lǐng)域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開微細(xì)加工工藝研究。

    OTKL-385-PE25投影掩膜光刻系統(tǒng)

    掩膜方式

    投影

    監(jiān)測系統(tǒng)像素

    3800

    曝光光源

    紫外LED

    監(jiān)測系統(tǒng)電子變倍

    33-270

    光源波長

    385nm/405nm

    自然補(bǔ)光系統(tǒng)

    黃光

    曝光面積

    96mm×54mm

    功率

    500W

    曝光方式

    單面接觸式定時(shí)曝光

    操作系統(tǒng)

    Win10

    曝光分辨率

    20um(無掩膜套刻)

    2um(掩膜)

    工作環(huán)境

    溫度0℃-40 ℃,相對濕度<80 %

    曝光強(qiáng)度

    44mW/cm2可調(diào)

    電源輸入

    AC220V±10V,50HZ

    曝光不均勻性

    5%

    尺寸

    1200×750×2000mm

    圖像畸變

    0.1%

     

     

    圖像物理分辨率

    3840×2160

    重量

    50kg



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